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Es war der fünfte Workshop im Rahmen der Tagungsreihe, die 1989 durch den Leiter des Instituts für Technische Optik, Prof. Wolfgang Osten, gegründet wurde. Die 140 Teilnehmer aus 26 Ländern gestalteten ein anspruchsvolles Programm, das Stand und Perspektiven des Forschungsbereiches aufzeigte. Schwerpunktthemen waren dabei neue Methoden und Werkzeuge für die Erzeugung, Erfassung, Verarbeitung und Auswertung von optischen Messdaten, Verfahren zur Verbesserung der Auflösung in den optischen Messtechniken sowie die Anwendung optischer 4D-Messtechniken in weiten Skalen. Auch hybride Messtechniken sowie neue optische Sensoren und Messsysteme für die industrielle Inspektion wurden diskutiert.
Die optischen Messtechniken nehmen wegen ihrer Schlüsselstellung bei der Einführung neuer Technologien weltweit einen herausragenden Platz auf dem Forschungssektor ein. Durch ihren Einsatz kann das Verhalten neuartiger Werkstoffe, Konstruktionen und Strukturen zerstörungsfrei und berührungslos erfasst werden – und dies in einem Messbereich, der von der Nanowelt bis in die Makrowelt reicht. Stimuliert durch innovative Mikro- und Nanotechnologien haben sich insbesondere mikroskopische, interferometrische und topometrischen Techniken als besonders vielversprechend herausgestellt. Hiermit lassen sich beispielsweise durch Lithografie erzeugte Nanostrukturen auf so genannten Halbleiterwafern oder komplizierte Präzisionsoptiken und mikrosystemtechnische Komponenten studieren.
Vielfältige Forschungsfragen
Ein Schlüsselthema beim Einsatz dieser Techniken besteht in der Gewinnung und Verarbeitung der optischen Information. Im Vordergrund stehen Fragen wie die hochpräzise und automatische Rekonstruktion von Phasenverteilungen aus Interferogrammen sowie die hochgenaue Rekonstruktion von Nano- und Mikrostrukturen aus mikroskopischen Messungen unter Berücksichtigung der Grenzen der optischen Abbildung. Auch die Wechselwirkung von Licht mit Mikro- und Nanostrukturen gibt den Wissenschaftlern noch Rätsel auf, wobei rigorose Modellbildungen und Simulationstechniken einzubeziehen sind. Von Bedeutung ist zudem die Verbindung von optischen Methoden zur Messdatengewinnung und Rekonstruktion mit Simulationstechniken (CAD, FEM, RCWA) und die Entwicklung kompletter Messsysteme für die industrielle Praxis.
Erstmals wurde im Rahmen der Fringe‘05 der Hans Steinbichler Preis vergeben. Die mit 5 000 Euro dotierte Auszeichnung ging an Prof. Dr. Johannes Schwider (Erlangen), der durch hervorragende Leistungen sowie zahlreiche Entwicklungen und Publikationen einen bedeutenden Beitrag für die Entwicklung der optischen Messtechnik geleistet hat.
Osten/amg
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