Forschungsschwerpunkte
Die Forschungsschwerpunkte des Instituts für Zeitmesstechnik, Fein- und Mikrotechnik liegen in der grundlagenorientierten Untersuchung in Dimensionsbereichen der Miniatur- und Mikrotechnik.
- Gehäuse- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme
- Kunststoff-Metall-Verbundsysteme
- Molded Interconnect Devices (MID)
- Miniaturisierte Sensor- und Aktorsysteme
- Mikrostrukturen in harten Werkstoffen
- Technologien für polymere Mikrofluidbauteile
Veröffentlichungen