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3D-Oberflächenmesstechnik

 

Gruppenleiter: W. Lyda
Arbeitsschwerpunkte der Gruppe sind die konfokale Mikroskopie, die mikroskopische Weißlichtinterferometrie, die mikro- und makroskopische Streifenprojektion sowie kombinierte Sensoren. Die 3D-Oberflächenmesstechnik dient der skalenübergreifenden Gewinnung von dreidimensionalen Punktwolken und von Oberflächenmerkmalen. Das berührungslose Antasten und die hohe Messgeschwindigkeit im Vergleich zu taktilen Verfahren stellen besondere Vorteile dieser Messverfahren dar. Einsatz mikrooptischer Komponenten und Implementierung innovativer Auswertealgorithmen - auch zur Kalibrierung - bilden einen Forschungsschwerpunkt bei adaptiven optischen Sensoren zur Topografieerfassung.
 
Konfokale Mikroskopie Konfokale Mikroskopie mit rotierenden Mikrolinsenscheiben

 
Streifenprojektion Mikro- und Makroskopische Streifenprojektion
   
Weisslichtinterferometrie Weißlichtinterferometrie
   
Streifenprojektion Makroskopische tiefenscannende Streifenprojektion mit 3D-Kalibrierung