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	Mitarbeiter	Institut für Technische Optik

Wolfram Lyda
	Anschrift	Universität Stuttgart Institut für Technische Optik Pfaffenwaldring 9 D-70569 Stuttgart
	Büro	Zi.1.253B , 1. Stock
	Telefon	++49 (0) 711 / 685 - 66594
	Fax	++49 (0) 711 / 685 - 66586
	Email	lyda ito.uni-stuttgart.de
	Position	Leiter der Gruppe: 3D-Oberflächenmesstechnik

Biografie

Wolfram Lyda studierte Maschinenwesen an der Universität Stuttgart. Das Thema seiner Diplomarbeit lautete „Analyse des Fehlerbudgets zur Verringerung der Messfehler bei chromatisch-konfokalen Topografiemessungen“.
Seit 2007 ist er wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Technische Optik. Er beschäftigt sich schwerpunktmäßig mit der konfokalen Mikroskopie und mit der Entwicklung kombinativer optischer Messverfahren.

Forschungsgebiete
	3D-O Konfokal

Publikationen
	Baer, G., Garbusi, E., Lyda, W., Pruß, C.,Osten, W.: Automated alignment of aspheric and freeform surfaces in a non-null test interferometer. In Proceedings of SPIE, 2011.
	Burla, A., Haist, T., Lyda, W., Aissa, M.,Osten, W.: Assistant systems for efficient multiscale measurement and inspection. In Proceedings of SPIE, 2011, 8082.
	Burla, A., Haist, T., Lyda, W.,Osten, W.: Fourier descriptors for defect indication in a multiscale and multisensor measurement system. In Optical Engineering, 2011, 50; S. 43603.
	Fleischle, D., Berger, R., Lyda, W., Osten, W.,Sabotka, A.: Maschinenintegrierte Messtechnik für die Herstellung von Diamantschneidwerkzeugen: DGaO 2011 - DGaO Proceedings, 2011; S. A24.
	Fleischle, D., Lyda, W., Mauch, F.,Osten, W.: Conceptual consideration for the integration of optical sensors for in-process monitoring: Proc. of 10th INTERNATIONAL SYMPOSIUM OF MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS, 2011; S. C2-4.
	Fleischle, D., Lyda, W., Mauch, F.,Osten, W.: Conceptual consideration for the integration of optical sensors for In-Process monitoring. In Proc. of SPIE, 2011, 8082.
	Fleischle, D., Lyda, W., Schaal, F.,Osten, W.: Chromatic confocal sensor for in-process measurement during lathing: Proc. of 10th INTERNATIONAL SYMPOSIUM OF MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS, 2011.
	Gronle, M., Lyda, W., Mauch, F.,Osten, W.: Laterally chromatically dispersed, spectrally encoded interferometer. In Applied Optics, 2011, 50; S. 4574.
	Lyda, W., Burla, A., Haist, T., Gronle, M.,Osten, W.: Implementation and analysis of an automated multiscale measurement strategy for waver scale inspection of micro electromechanical systems: Proc. of 10th INTERNATIONAL SYMPOSIUM OF MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS, 2011; S. F3-4.
	Lyda, W., Burla, A., Haist, T.,Osten, W.: Automatisches multiskaliges Messsystem zur Inspektion von mikro-elektro-mechanischen Systemen: DGaO 2011 - DGaO Proceedings, 2011; S. A17.
	Lyda, W., Gronle, M., Fleischle, D., Mauch, F.,Osten, W.: Advantages of chromatic-confocal spectral interferometry in comparison to chromatic confocal microscopy: Proc. of 10th INTERNATIONAL SYMPOSIUM OF MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS, 2011; S. A4-5.
	Mauch, F., Fleischle, D., Lyda, W., Krug, T.,Haring, R.: Combining rigorous diffraction calculation and GPU accelerated nonsequential raytracing for high precision simulation of a linear grating spectrometer. In Proceedings of SPIE, 2011.
	Mauch, F., Lyda, W., Osten, W.,Fleischle, D.: Parallelisierte Strahldurchrechnung auf modernen Grafikkarten für optische Simulation und Design: DGaO 2011 - DGaO Proceedings, 2011; S. P15.
	Baer, G., Garbusi, E., Lyda, W.,Osten, W.: Automated surface positioning for a non-null test interferometer. In Optical Engineering, 2010, 49; S. 95602.
	Burla, A., Haist, T., Lyda, W., Michael, A.,Osten, W.: Rapid ideal template creation for the inspection of MEMS based on self-similarity characteristics. In Proc. of SPIE, 2010.
	Burla, A., Haist, T., Lyda, W.,Osten, W.: An assistance system for the selection of sensors in multi-scale measurement systems. In Proceedings of SPIE, 2010.
	Burla, A., Lyda, W., Osten, W., Regin, J., Westkämper, E., Zimmermann, J.,Sawodny, O.: Verlässlichkeitsanalyse von Indikator-Funktionen in einem Automatisierten Multiskalen-Messsystem. In tm - Technisches Messen, 2010, 77; S. 493–499.
	Fleischle, D., Lyda, W., Mauch, F.,Osten, W.: Optical metrology for process control: modeling and simulation of sensors for a comparison of different measurement principles. In Proc. of SPIE, 2010, 7718; S. 77181D-12.
	Fleischle, D., Lyda, W., Mauch, F.,Osten, W.: Untersuchung zum Zusammenhang von spektraler Abtastung und erreichbarer Messunsicherheit bei der chromatisch-konfokalen Mikroskopie an rauen Objekten: DGaO 2010 – DGaO Proceedings, 2010.
	Körner, K., Lyda, W.,Osten, W.: Anordnung und Verfahren zur konfokalen, spektralen Zweistrahl-Interferometrie, 2010.
	Lyda, W., Burla, A., Haist, T., Zimmermann, J., Osten, W.,Sawodny, O.: Automated multiscale measurement system for MEMS characterisation. In Proc. of SPIE, 2010, 7718.
	Lyda, W., Fleischle, D., Mauch, F., Haist, T.,Osten, W.: Vor- und Nachteile der chromatisch-konfokalen Spektralinterferometrie im Vergleich zur klassischen Spektralinterferometrie: DGaO 2010 – DGaO Proceedings, 2010.
	Osten, W., Garbusi, E., Fleischle, D., Lyda, W., Pruß, C., Reichle, R.,Falldorf, C.: Optical metrology - from the laboratory to the real world. In Proc. of SPIE, 2010, 7387.
	Zimmermann, J., Lyda, W., Sawodny, O.,Osten, W.: A Control System for Automated Multiscale Measuring Systems. In IEEE/ASME Transactions on Mechatronics, 2010, eingereicht 10.06.2010.
	Zimmermann, J., Sawodny, O., Lyda, W.,Osten, W.: Model-Based Control of a High-Precision Measurement Machine for Multiscale Inspection Tasks. In 5th IFAC Symposium on Mechatronic Systems, Cambridge, MA, USA, 2010.
	Burla, A., Lyda, W., Regin, J., Zimmermann, J., Osten, W., Westkämper, E.,Sawodny, O.: Relibility Analysis of Indicator Functions in an Automated Multiscale Measuring System. In Proceedings of Opto, 2009, 2009.
	Fleischle, D., Lyda, W., Haist, T.,Osten, W.: Modeling and simulation of chromatic confocal sensor to measure rough surfaces: DGaO 2009 – DGaO Proceedings, 2009.
	Lyda, W., Fleischle, D., Haist, T.,Osten, W.: Chromatic confocal spectral interferometry for technical surface characterization. In Proc. of SPIE, 2009, 7432.
	Lyda, W., Zimmermann, J., Burla, A., Regin, J., Osten, W., Sawodny, O.,Westkämper, E.: Sensor and actuator conditioning for multiscale measurement systems on example of confocal microscopy: Proceedings of SPIE. SPIE, 2009; S. 738903–738903-11.
	Lyda, W., Körner, K.,Osten, W.: Einsatz der chromatisch-konfokalen spektralen Interferometrie (CCSI) zur Reduktion der Messunsicherheit bei chromatischkonfokalenTopografiemessungen: DGaO 2008 - DGaO-Proceedings, 2008.
	Regin, J., Westkämper, E., Schröder, S., Tünnermann, A., Duparré, A., Ritter, M., Staude, A., Goebbels, J., Kranzmann, A., Krämer, P., Weckenmann, A., Zimmermann, J., Sawodny, O., Lyda, W.,Osten, W.: Fusion multimodaler Daten am Beispiel eines Mikrolinsen-Arrays (Multimodal Data Fusion Exemplified on a Microlens Array). In tm - Technisches Messen, 2008, 75; S. 346–359.
	Zimmermann, J., Regin, J., Lyda, W., Wiesendanger, T., Sawodny, O., Westkämper, E.,W. Osten: Definition and Design of an Automated Multiscale Measuring System, 2008; S. 430–435.
	Papastathopoulos, E., Lyda, W., Körner, K.,Osten, W.: Chromatisch-konfokale Spektral- Interferometrie (CCSI). In (VDI Hrsg.): VDI-Berichte 1996, 2007; S. 309–318.
	Berger, R., Lyda, W., Fleischle, D., Körner, K., Sobotka, A., Wenzel, C.,Brecher, C.: Interferometrische Messung von Freiform-Schneidkanten auf einer Diamantwerkzeugbearbeitungsmaschine. In Technisches Messen, to be published.