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unilogo Universität Stuttgart
Diplomstudiengang Elektrotechnik und Informationstechnik (Keine Neueinschreibungen)

Studienführer

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Halbleitertechnologie (Fachpraktikum)

Organisatorisches
Institut Halbleitertechnik
Umfang (in einem Semester) 3P
Veranstaltung für 7./9. Semester
Sprache der Veranstaltung Deutsch

Inhalt

Das Praktikum Halbleitertechnologie dient als Einführung in die technologischen Grundlagen anhand der wichtigsten Prozessmodule (Epitaxie, Lithographie, Dotierung, Oxidation und Metallisierung). Desweiteren k?nnen die Teilnehmer die Arbeit unter Reinraumbedingungen kennenlernen, eigene SiGe Hetero-Bipolar-Transistoren herstellen und anschliessend vermessen.